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環(huán)控產(chǎn)品

專注于環(huán)境監(jiān)測服務,致力于環(huán)保事業(yè)發(fā)展

APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 可配置液體或氣體樣品

  • 可實現(xiàn)標樣加濕功能

  • 兩級高精度MFC控制

  • 稀釋比高

  • 全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt

  • 可針對不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品

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原理概述

    APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng),是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chǎn)品,可稀釋2到15種不同氣體,稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產(chǎn)商,半導體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學研究。可根據(jù)用戶要求定制。

    儀器特點

    苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;

    帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

    高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準

    可選配液體標樣稀釋模塊

    儀器功能

    1、單一/混合氣體配制

    通過質量流量控制器(MFC)順序連接兩種或多種標準氣體,如順序稀釋或產(chǎn)生混合氣體。可以單獨稀釋多種標準氣體,也可以通過同時稀釋多種的標準氣體來產(chǎn)生混合氣體。

    2、蘇瑪罐罐沖

    該系統(tǒng)配備了壓力傳感器,以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。

    3、控制溫度和濕度

    自動調節(jié)溫度和濕度,在各種條件下連續(xù)產(chǎn)生氣體。

    4、液體標樣氣化稀釋

    可選配液體標樣稀釋模塊

    5、顆粒物發(fā)生裝置

    可選配顆粒物發(fā)生裝置,模擬各種工況

    以上功能均可根據(jù)客戶實際需求組合定制。

    應用:

    傳感器生產(chǎn)商

    半導體生產(chǎn)商

    科研院所

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